三菱直線電機手冊
資料介紹：
剛性。全閉環系統可實現精度運行。可進行速運行（2m/s）以往傳統的傳動機構不能達到這樣的運行速度。當使用帶SSCNETⅢ網絡控制連接型的Q系列運動控制器控制直線伺服時，可輕松實現精度同步運行和多頭運行。與MR-J3-B系列兼容，可構建精度響應系統，提系統可靠性。MR-J3-B的“魯棒干擾補償功能”可抑制由干擾所產生的速度偏移而導致的速度不均勻。具有無鐵芯和有鐵芯兩種類型兼容性能伺服放大器MR-J3-BLM-H2系列和LM-F系列（液冷型）具有緊湊的結構和強大的推力。這些型號的直線伺服可應用于從半導體安裝到物料傳送系統等不同的領域。LM-U2系列屬于無鐵芯類型同樣適用
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